由各種傳感器的原理可知，電容傳感器靈敏度高，具有以下特點：
1、動態(tài)響應好，由于極板間的靜電引力很小，需要的作用能量極小，又豈可動部分可以做得很小很薄，因此其固有頻率很高動態(tài)響應時間短，能在幾兆赫的頻率下工作，特別適合動態(tài)測量。
2、結(jié)構(gòu)簡單，適應性強，易于制造，易于保證高的精度，可以做成小尺寸傳感器，以實現(xiàn)特殊測量，能工作在高低溫，強輻射及強磁場等惡劣環(huán)境中，可以承受高壓力，高沖擊，過載等。
3、發(fā)熱小，自身溫度系數(shù)小，由于電容傳感器的電容值于電極材料無關(guān)，可以選擇溫度系數(shù)低的材料，在外界溫度穩(wěn)定的情況下，可以保證好的穩(wěn)定性。
4、較大的相對變化量只受線性區(qū)限制，其值可達到百分之百或更大，可以保證傳感器的分辨率和測量范圍。
